氖氦氪氙稀有气体因其稀缺性和提取高难度性，是工业气体领域的金字塔，也是国家战略性资源。中科富海突破国外巨头的市场与技术壁垒，提供稀有气体精制装置及高纯气体产品，解决我国半导体行业所需电子特气的卡脖子问题，为化工、新能源、半导体制程、液晶面板、LED、光伏等领域客户提供专业优质的气体产品及应用技术等一体化解决方案。

氖气的应用

氙在常温常压下为无色无臭无毒的气体。空气中含氙约90ppm。不燃烧。

作为麻醉剂，氙气在医学上很受重视。氙能溶于细胞质的油脂里，引起细胞的麻醉和膨胀，从而使神经末梢作用暂时停止。人们曾试用80%氙气和20%氧气组成的混合气体，作为无副作用的麻醉剂。氙灯还具有高度的紫外光辐射，可用于医疗技术方面。

在原子能工业上，氙可以用来检验高速粒子、γ粒子、介子等的存在。

氙气可应用于空间和卫星行业，用于卫星发射的离子发动机和离子浆推进器燃料。由于氙气重量和密度很重，重量约是空气的4.5倍，主要用作卫星的轨道位置保持和机动控制。氙气的非冷凝性质使离子火箭发动机几乎可以立即启动或关机，简化配电系统和绝缘器设计。氙作为推进剂有以下优点：无污染，不与航天器表面材料发生化学反应；无毒，不会污染空间环境和地球生物圈，确保地面试验人员的健康和实验室内外环境的净化。氙离子火箭发动机的应用范围已经从早期的静地轨道卫星南北位置保持扩大到姿态控制、轨道机动、非推进应用，如等离子体开关和行星际航行。

氙气的最新用途是电子芯片制造业，也是目前氙气需求增长及对氙气投机买卖的最重要原因，几家大型芯片制造商正使用氙气等离子蚀刻，主要用于微电子机械系统（ MEMS）的制造。MEMS 设备可将微电子和微机械集成为一个整体，能在一块芯片上制作更复杂及功效更强的电路。这种技术从根本上把电脑芯片（处理数据）和传感器（收集数据）结合到一个元件上，可以批量生产，这种芯片的潜在用途不可估量，氙气蚀刻工艺就由一些半导体制造商用于生产这种超级芯片。

氙气在电子芯片制造业中的应用